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稳定同位素系列材料

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三氯化硼11

更新时间:2020-07-04 点击数:2129

常温常压下三氯化硼11(B11Cl3)为无色发烟气体,可燃,有刺激性、酸性气味,遇水分解生成氯化氢和硼酸,并放出大量热量,在湿空气中因水解而生成烟雾,在醇中分解为盐酸和硼酸酯。三氯化硼11反应能力较强,能形成多种配位化合物,三氯化硼加热能和玻璃、陶瓷起反应,也能和许多有机物反应形成各种有机硼化合物。高纯三氯化硼11主要用于(硅)半导体器件制造工艺中的扩散掺杂,在高温下,经过分解生成硼杂质向硅中扩散,形成P型半导体,也可用于Al、MoSi2、TaSi2、TiSi2、WSi等材料的干法蚀刻。

产品指标

产品用途:

高纯三氯化硼11主要用于半导体器件和集成电路制造中扩散掺杂、离子注入、干法蚀刻等工艺。三氯化硼11也可用以制造高纯硼、有机合成用催化剂、硅酸盐分解时的 助熔剂,在合金精制中作为除氧剂、氮化物和碳化物的添加剂。

包装、贮存:

三氯化硼11充装于钢瓶中,包装规格为10L和47L,具体包装规格可根据用户要求定制更改。产品储存于阴凉、干燥、通风库房内,库房温度低于60℃。严禁暴晒,远离热源。包装必须密封,与碱类等危险品分开储存。



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